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Um die Unbestimmtheit einer relativen interferometrischen Messung zu beseitigen, wird bei zwei oder mehreren diskreten Frequenzen die Phasenlage gemessen. Die Frequenzen können wiederum die Laserfrequenz selbst (verschiedene Laser, bei kleinsten Entfernungen) oder Modulationsfrequenzen ein und desselben Lasers sein (Frequenzen müssen zu Entfernungen und Messbereich passen).

Um die Genauigkeitsanforderung an die Zeitmessung zu verringern, werden Verfahren eingesetzt, bei denen der Laserstrahl selbst frequenzmoduliert oder mit einem hochfrequenten Signal moduliert wird.

Aus den drei bekannten Größen Abstand Sender – Empfänger, Austrittswinkel und Eintrittswinkel des Laserstrahls berechnet der Mikroprozessor in Sekundenschnelle die Entfernung der zu messenden Fläche. Da die Laserstrahlung gepulst ist, werden diese einzelnen Impulse vom Mikroprozessor praktisch als Einzelmessungen interpretiert. Aus dem sich daraus errechneten Mittelwert resultiert eine hohe Messgenauigkeit.

Weitere aktive und passive optische Abstandsmessverfahren sind u. a. das Lichtschnittverfahren und die Triangulation auf dem Gebiet der Geodäsie bzw. Vermessung.